拳打ASML！俄罗斯自研超越EUV高级别的光刻机是在“吹牛X”吗？

RAS身兼研究课题员、苏俄国在家奖项获得者、多层X射线白透镜系主任Salashchenko Nikolay甚至狠：一个国在家是无法单独推广这项兼职的，而当今当今世界都在协助西班牙（ASML）。

白俄罗斯的美好愿望

很多人以为白俄罗斯的白光刻机制造计划案是由于美国在中央政府的禁令临时发起的，其实不然。纸片提到白俄罗斯在2010年时，甚至一度与ASML并跑。实际上，白俄罗斯的白光刻机相关研究课题即已在上世纪80中会期就开始了。当时交由研发同步太阳光探测器的是泽列诺格勒科学中会心，后来被并入了的有的库尔恰托夫研究课题所，苏俄第一颗原子弹、第一颗氢爆炸、西欧第一座原子反应堆、当今世界第一座原子能发电站，甚多引自它手。

而此次交由这项计划案的是MIET，是白俄罗斯的一所国在立研究课题DF教育机构，1965年更名至今已过半百。而该校的独有学科就是微电子学、信息极低效率和计算机工程。法学院共有教师6500多人，其中会研究课题生250多人、副麻省理工法学院（按照英美及中会国在旧制为Phd学位）270人、麻省理工法学院5人。

在历程了一轮的告终后，白俄罗斯这次计划案选择不同于ASML的想像中会紫白光极低效率的路线，而是基于X射线的无掩膜DF式白光刻。

首先从白折射的选择来看，一种是想像中会紫外白光线，散射在13.5nm，另一种为X射线，散射介于0.01nm至10nm之间。白光刻机的架构及极低效率很复杂，但暂时白光刻机清晰度的主要因素只有即刻，包含常数K、白折射散射和目镜的数值孔径。散射越细，清晰度就越极低。因此，在白折射选择上来看，理论上X射线比EUV想像中会紫外白光线更为细，清晰度也就更为极低。

其次从生产的成本和方DF式来看，EUV白光刻机是特定散射的白光借此用来放大的掩膜，再通过透镜的缩减，将集成晶体管精确的“镜面”在马尔季尼夫卡上。而X射线虽然散射更为细但穿透力也更为强，用平常透镜无法进行放大和缩减，因此也就无法充分利用镜面白光刻，而是采行直写白光刻的方DF式。不论如何，白光刻机也就不必须白光掩膜铁片，可以节省；还有笔成本。

正是因为X射线白光刻机的这两点军事优势，当地媒体甚至宣传这将是当今当今世界都无法的白光刻机，ASML也来作勉强。当然事实也的确如此，根据媒体信息披露，X射线白光刻机虽然并不是新极低效率，包含美国在中央政府、西欧、中会国在等都举动进行过研究课题，但当今当今世界其实至今无法能达到规模换装的x射线白光刻机。

另外，X射线白光刻机的兼职生产成本也是；还有挑一战。对于直接通过强激白光束将所需要晶体管一点一点浅浮雕在马尔季尼夫卡上的方DF式，这个生产成本想充分利用纳米级集成晶体管其实不敢恭维。

根据计划案，白俄罗斯针对X射线加工及生产成本的降低，计划案将完成对主要极低效率解决方案的验证，包含基于静态掩膜模DF的制造和两项遏制实验研究课题。最即已将于来年11同月开发静态掩膜的极低效率和模DF，以及原DF白光刻机的极低效率规范和可行性研究课题，加工要达到28nm及以上。

给国在际上集成晶体管转变的先知

长久以来，国在际上集成晶体管的转变从根本上一直“以花钱代造”，然而一轮大棒挥下发现，金钱财花钱以此产品却花钱何必氢心极低效率；的产品换回以此入股却换回何必企业创新。更为难的是，随着美国在中央政府禁令加剧，直到现在产品和入股转至国在际上的企业的意味著也不明朗。

从极低效率来看，尽管国在际上集成晶体管产业仍仍未有了极大的使命感，并在一些关键性极低效率上夺得了突飞猛进的转变，但细期内想突破EUV白光刻机不可否认还是不意味著的护航。也难怪一名西欧极低阶科学家曾狠，“就是给你们全套图纸，你们也来作不出来”，当然我们后来打了他的脸，但面向更为极低阶别的EUV白光刻机，虽然不质疑国在际上的企业的能够，但实际困难毕竟摆在那里，不能视而不见。

当然，一同才会而会落于人后，无论从通信历史来看，还是国在际上仍仍未领先的各个领域来看，想矩尺先至，就必须在追逐中会充分利用“爬坡超车”，这样才能尽量避免步步跟不上对手。在“是否是能绕过EUV白光刻机”的探讨中会，国在际上也在不断试着。

比如去年三星披露的“双芯叠加”专利。三星3人董事郭平曾披露表示：“解决中央处理器问题是一个复杂的漫长过程，必须有细心，仍未来我们的中央处理器方案意味著采行多氢结构，以降低中央处理器性能。”“双芯叠加”实际上就是通过修改结构设计逻辑和技术嵌入加工，将双层的极低效率算是桌上DF电脑PCB、极低科技性能。虽然这一消息曾在去年被网内路上百般嘲讽，但随着来年的小中央处理器概念普及，特别是苹果将两个M1 max中央处理器合成M1 Ultra此后，让更为多人开始关注到这些年来失灵后的探索。

除此之外，转变集成晶体管作为一项国在家一战略，中央政府与的企业之间也某种程度长期而极具一战略性的引导和投入，一方面中央政府与的企业都由承担风险，来作的企业看似的支柱；另一方面，通过极低效率Union，集合国在际上集成晶体管产业上的军事优势精神力量，也是集成晶体管撤退一战的必要举措。

终于，极低效率创新必须以人力资源为涡轮引擎。任正非曾却说过，“来作中央处理器白光砸金钱敢，还要砸人。目前这种大局，我们其实会致使，但也能兴奋中会国在踏踏实实转变电子产业。即使如此的策略是砸金钱，中央处理器白光砸金钱敢，要砸数学家、科学学家等。”

参考：

1.《入股6.7亿里拉，白俄罗斯无限期研发X射线白光刻机！比ASML的EUV白光刻机还要技术？》，芯智讯

2.《给我们全套图纸，日本国人都造不出极低科技白光刻机？！》，经济日报国在家周刊

3.《白光刻机大败局》，远川科技评论

4.《大国在博弈白光刻机，中会国在如何破局？》，正和岛

5.《美国在中央政府断供中央处理器，白俄罗斯暂时早先开造白光刻机》，量子位

6.《国在产白光刻机的近代回顾》，集成晶体管企业观察

7.《ASML的白光刻机霸主之路》，集成晶体管企业观察